臭氧消毒具有廣譜性和清潔性，對病毒、細菌繁殖體、細菌芽孢、真菌、霉菌孢子等病原微生物均具有殺滅作用，且臭氧的合成原料是空氣或者氧氣，合成后會快速分解為氧氣，消毒后不會殘留有害物質。臭氧消毒還具有高效性，同一時間內臭氧對病毒的殺滅效果是氯殺滅效果的幾倍，與氯消毒相比，臭氧在很短的接觸時間內可取得相同的消毒效果。

相比較而言，臭氧更適用于水體的消毒。研究表明，水溫對水中臭氧濃度有非常顯著的影響，隨著水溫的升高，水中臭氧濃度快速降低，且半衰期快速縮短。由臭氧水噴霧殺菌處理時，以15 mg/L 的臭氧水進行噴霧消毒，作用15 min，對白色念珠菌、黑曲霉孢子的殺滅率均低于40%]，達不到殺菌效果。說明臭氧水噴霧法的殺菌效果較差，不能對載體上附著的真菌進行有效的殺滅。采用載體浸泡定量殺菌，設定合理的時間和濃度，可以達到要達到100%的殺滅率。15 mg/L臭氧水浸泡10 min 能夠*殺滅載體上的白色念珠菌，10 mg/L 臭氧水浸泡10 min 或15 mg/L 臭氧水浸泡5 min 能夠100%殺滅載體上的黑曲霉孢子。